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        日本SAMCO 深硅蝕刻設(shè)備 RIE-400iP
        
                    
        簡要描述：The RIE-400iP是一種高性能電感耦合等離子體(ICP)蝕刻系統(tǒng)，它使用高密度等離子體來執(zhí)行光電器件和電子元件所需的化合物半導(dǎo)體蝕刻。
        
                    
          
                        
        • 更新時(shí)間：2026/1/12 7:08:17
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        • 訪  問  量：1553
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        • 產(chǎn)品型號(hào)：RIE-400iP
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        詳細(xì)介紹
        
            
        
                
        
                 
        
	
		
        
			
			
         
        

			
        

			
         
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        The RIE-400iP是一種高性能電感耦合等離子體(ICP)蝕刻系統(tǒng)，它使用高密度等離子體來執(zhí)行光電器件和電子元件所需的化合物半導(dǎo)體蝕刻。
        

			

        
			該系統(tǒng)專為研發(fā)和中試生產(chǎn)客戶設(shè)計(jì)，需要高規(guī)格，多功能和強(qiáng)大的系統(tǒng)，具有出色的工藝技術(shù)。
        

			
         
        
			        		
		
        
	        

        


         
        


         
        


        
	
		
        
			
			
        系統(tǒng)配置
        

			

        
			●  配備先進(jìn)的ICP源：HSTC™(Hyper Symmetrical Tornado Coil) 可
        
			    實(shí)現(xiàn)高度均勻且精確的蝕刻
        
			●  獨(dú)創(chuàng)的ESC (靜電卡盤)提高了導(dǎo)熱性，可使晶圓片的溫度
        
			    更為均勻
        
			●  高速排氣系統(tǒng)且占地面積小
        
			●  強(qiáng)化腔室設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性
        
			●  優(yōu)秀的工藝庫和技術(shù)
        
			●  高達(dá)ø4“(100毫米)晶圓
        
			●  人性化的操作界面
        
			●  易于維護(hù)
        

			
         
        

			
         應(yīng)用場景 
        
			        		
			
			
        尺寸
        

			
         
        

			
        

			
         
        

			
         
        
			        		
		
        
		
        
			
			
        

			
        GaN Power Device
        
			        		
			
			
        

			
        GaAs VCSEL
        
			        		
			
			
         
        

			
        

			
        InP Laser
        
			(Cone shaped ICP Coil)
        
			        		
		
        
		
        
			
			
         
        

			
        設(shè)備參數(shù)
        

			
        

			
         
        

			
         
        
			        		
			
			
         
        

			
        常務(wù)需求
        

			
        

			
         
        

			
         
        

			
         
        

			
         
        

			
         
        

			
         
        
			        		
		
        
	        

        


         
        


        

                
        
                
         

        
            
        
            
        產(chǎn)品咨詢
        
            
        
               
        
                
                
        
                  
        
                    
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