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        濱松微光顯微鏡原理是什么?

        時(shí)間:2024-10-25  點(diǎn)擊次數(shù):3371

        濱松微光顯微鏡(EMMI,又稱PEM,Photon Emission Microscope,光發(fā)射顯微鏡)的原理主要基于半導(dǎo)體器件在失效或缺陷狀態(tài)下會(huì)發(fā)出微量光子的現(xiàn)象。以下是對其原理的詳細(xì)解釋:

        一、工作原理

        1. 光子發(fā)射:當(dāng)對半導(dǎo)體樣品施加適當(dāng)電壓時(shí),其失效點(diǎn)(如熱點(diǎn)、亮點(diǎn))會(huì)因加速載流子散射或電子-空穴對的復(fù)合而釋放特定波長的光子。這些光子的波長范圍通常在350nm到1100nm之間,相當(dāng)于可見光和紅外光區(qū)。
        2. 光子偵測:濱松微光顯微鏡配備有高靈敏度的制冷式電荷(光)耦合組件(C-CCD)偵測器,能夠偵測到這些由電子-空穴結(jié)合與熱載子所激發(fā)出的光子。
        3. 圖像生成:經(jīng)過收集和圖像處理后,這些光子信號(hào)被轉(zhuǎn)換成一張信號(hào)圖。撤去對樣品施加的電壓后,再收集一張背景圖。將信號(hào)圖和背景圖疊加之后,就可以定位發(fā)光點(diǎn)的位置,從而實(shí)現(xiàn)對失效點(diǎn)的定位。

        二、應(yīng)用與功能

        濱松微光顯微鏡不僅具有故障點(diǎn)定位、尋找亮點(diǎn)和熱點(diǎn)的功能,還廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

        1. 檢測芯片封裝打線和芯片內(nèi)部線路短路
        2. 晶體管和二極管的短路和漏電
        3. TFT LCD面板和PCB/PCBA的金屬線路缺陷和短路
        4. PCB/PCBA上的部分失效元器件
        5. 介電層(Oxide)漏電
        6. ESD閉鎖效應(yīng)
        7. 3D封裝(Stacked Die)失效點(diǎn)的深度預(yù)估

        此外,濱松微光顯微鏡還可以與光束誘導(dǎo)電阻變化(OBIRCH)功能集成在一個(gè)檢測系統(tǒng)中。OBIRCH技術(shù)利用激光束在恒定電壓下的器件表面進(jìn)行掃描,通過檢測金屬互聯(lián)線缺陷處溫度累計(jì)升高引起的電阻和電流變化,來定位缺陷位置。這種技術(shù)具有迅速、通用、潔凈、簡單和靈敏等優(yōu)點(diǎn),能夠快速準(zhǔn)確地定位IC中元件的短路、布線和通孔互聯(lián)中的空洞等缺陷。

        綜上所述,濱松微光顯微鏡的原理是基于半導(dǎo)體器件在失效或缺陷狀態(tài)下發(fā)出的微量光子進(jìn)行偵測和定位。其應(yīng)用范圍廣泛,是半導(dǎo)體故障失效分析中的重要工具。

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